принципы построения и основные тенденции развития микроэлектронных сенсоров

Основные результаты диссертационной работы докладывались на симпозиумах, конференциях: конференции ECLC 97. Наука и технология, Польша, Закопане, 1997г.; 6-той научной конференции "Электронная технология", Польша, Крыница, 1997г.; 1-м Международном симпозиуме по микроэлектронных технологий и микросистем, Польша, Жешув, 1997г.; 21-ший конференции ISHM, Польша, Устронь, 1997г.; 6-м Международном симпозиуме "Передовые дисплейные технологии", Украина, Партенит, 1997г.; 5-той научной конференции "Оптоэлектронные и электронные сенсоры", Польша, Юрате, 1998г.; 22-гий конференции IMAPS, Польша, Закопане, 1998г.; 2-м Международном симпозиуме по микроэлектронных технологий и микросистем, Украина, Львов, 1998; 3-м Международном симпозиуме по микроэлектронных технологий и микросистем, Словакия, Кошице, 1999г.; 23-той конференции IMAPS, Польша, Кошалин-Колобжег, 1999г.; 7-мой конференции "Световоды и их применение", Польша, Красноброд, 1999г.; 4-м Международном симпозиуме по микроэлектронных технологий и микросистем, Германия, Цвикау, 2000г.; конференции "Оптоэлектронные информационные технологии ", Украина, Винница, 2000г.; 5-м Международном симпозиуме по микроэлектронных технологий и микросистем, Румыния, Питешти, 2001г.; AMSE конференции по моделированию, Украина, Львов, 2001г.; 25-той конференции IMAPS, Польша, Жешув-Полянчик, 2001г.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, семи глав, заключения, списка литературы из 196 наименований и приложения. Общий объем работы составляет 345 страниц, в том числе 313 страниц основного текста, 179 рисунков, 20 таблиц.

Увступи отражены актуальность проблемы, обоснованно цель и основные задачи исследования. Показана связь работы с научными планами, темами. Сформулированы научная новизна и положения, выносимые на защиту. Рассматриваются практическая ценность и внедрение результатов работы. Приводятся данные о личном вкладе соискателя, апробацию работы и публикации.