принципы построения и основные тенденции развития микроэлектронных сенсоров

Основными составляющими предложенных в диссертационной работе преобразователей термосенсорних ИС являются: функциональный стабилизатор - формирователь тока ИТ на элементах Т1-Т4, RE, RZ, токовое зеркало - делитель на Т5-Т7 и элементы формирования относительной температуропровиднои шкалы D, RT, RL, R0. В зависимости от требований к параметрам выходного сигнала преобразователь может иметь модификации, в частности схемы, приведенные на рис.1, а, б.

Приняв, что активная площадь транзисторов Т1-Т3 и электрофизические параметры их структур взаемототожни, т.е. тождественны их токи насыщения Иs1 = Иs2 = Иs3 = IS, а активная площадь эмиттера Т4 в р раз больше, чем в Т1-Т3, т.е. Иs4 = рИs, значение выходного тока ИТ функционального стабилизатора определяется как:

где - температурный потенциал; m - коэффициент неидеальности эмиттерного pn переходов транзисторов; k - постоянная Больцмана; q - заряд электрона; T - абсолютная температура; p - коэффициент масштабирования; RE - резистор в эмиттерной цепи стабилизатора.

Таким образом, ток ИТ в первом приближении не зависит от напряжения питания и тока через резистор начального смещения RZ, т.е. имеет место стабилизация режима питания. Кроме того, величина ИТ характеризуется линейной зависимостью от абсолютной температуры Т, а крутизна этой зависимости составляет