принципы построения и основные тенденции развития микроэлектронных сенсоров

В первом разделе проанализированы принципы построения и основные тенденции развития микроэлектронных сенсоров температуры на основе интегральной электроники и оптики. Показано, что определенные классы сенсоров температуры развиты недостаточно, а актуальность таких сенсоров является значительным на сегодняшний день. В классы сенсоров температуры принадлежат термосенсорни интегральные схемы с отсчетом относительной температуры, жидкокристаллические сенсоры температуры на основе электрооптических эффектов в жидких кристаллах, волоконно-оптических элементов и их комбинации, измерительные устройства на основе термозалежних пленочных резисторов, которые являются предметом исследований данной диссертационной работы. На основе анализа тенденций развития микроэлектронных сенсоров, в частности термосенсорних интегральных схем, жидкокристаллических и волоконно-оптических сенсоров температуры, в первой главе определены цель и задачи исследований.

В основу проведенных во второй главе диссертации исследований положены оригинальную схему узла первичного преобразователя с отсчетом относительной температуры, принцип работы которого заключается в формировании тока с линейной зависимостью от абсолютной температуры и дальнейшем его превращении в дифференциальный сигнал, величина которого определяется шкале относительной температуры.