Популярные технологии устройств: mems и сенсорные экраны

Пожалуй, так исторически складывается, что абсолютное большинство технологических новшеств помогать в первую очередь человечеству. И лишь некоторые из них по истечении частью неопределенного срока утрачивают свою истинную сущность, покрываются краской и примеряют практически розовые очки. Эволюция устройств – яркое тому подтверждение.

Эх, как сейчас помню те времена, когда с помощью моего первого уже мобильного телефона всего-то позволялось звонить, переписываться SMS’ками и беспрепятственно, звучно раскрывать пиво. А что сейчас? От нескончаемых «фишек» инструмента голова идет кругом. Но инженеры и маркетологи больших организаций либо всесторонне знают свое необыкновенное дело слишком хорошо, либо им все по «иксу», поэтому они никак не могут остановиться, буквально нашпиговывая девайсы новыми и новыми технологиями. И вот абсолютное большинство пластиковых «современников» (да и их владельцы) уже не обходятся без комфортного уже сенсорного дисплея или вероятности максимального использования микроэлектромеханических систем.

Замечу, достаточно увлекательных систем, речь о которых пойдет в сегодняшнем материале.

Находка для Джобса

Впервые про MEMS (Micro-Electro-Mechanical System – микроэлектромеханические системы, МЭМС) заговорили еще в 1959 году, когда неимоверно простой «игрушкой» лаборантов Массачусетского Технологического Университета (МТУ) всерьез заинтересовались не кто другие, как хорошо вооруженные силы Соединенных Штатов Америки с NASA в придачу. Тогда суть технологии по понятным причинам не раскрывалась, но уже через какие-то 20 лет для массового пользователя впервые были особые датчики. Постаралась организация Motorola, выпустив в начале 80-х годов прибор MPX5100, определяющий большое изменение дифференциального давления в диапазоне от 100 до 1000 кПа. При этом габариты устройства не превышали трех миллиметров. Чип отменно трудился при экстремальных температурах и требовал мизерные 0.2 В напряжения.

И это был прорыв! Впервые появилась вероятность отказаться от габаритных, дорогих, менее истинных приспособлений и перейти на механические (актюаторы) и электронные (транзисторы) системы, объединенные в одном кремниевом кристалле. Технология изготовления МЭМСдатчиков не отличается от создания обыкновенных особо интегральных схем, так что большая выгода применения таких устройств очевидна.

Словно космонавты-первопроходцы, повалившие из корабля вслед за Нилом Армстронгом на девственные пески Луны, на пока еще молодой и необузданный базар микроакселерометров и прочих счетчиков выступили и остальные американские компании. Так что к началу 90-х годов днем с огнем абсолютно невозможно было отыскать автотранспорт уже заправского янки без «умного» датчика какой-либо мануфактуры.

Среди них, помимо первопроходца Motorola, были хорошо жутко знакомые компании в лице Analog Devices и Texas Instruments. Первые выпустили в 1991 году прибор ADXL50, измеряющий ускорение, ударные большей нагрузки или вибрацию. Позже появились устройства, функционирующие на принципе Холла (64-позиционные кодировщики положения в пространстве).

Ну а что же компьютерное «железо» и всевозможные гаджеты? На самом необыкновенном деле МЭМСакселерометры абсолютно довольно приличное и жаркое время присутствуют в деталях биологически игровых приставок (вимоты Nintendo Wii), жестких дисков, проекторов, фотоаппаратов и струйных принтеров. Что касается гаджетов, то первым похожим девайсом, оснащенным высоко интеллектуальной микросхемой (так их величают инженеры), смело именуют телефон Nokia 5500. Модель инструмента уточнила большое внимание покупателя не только на финское качество, но и возможности шагомера – прибора, измеряющего абсолютное количество пройденного пути. Любители утренних пробежек по достоинству по-настоящему оценили потенциал датчика отслеживать человека и растраты его калорий. Но пик популярности, о чем неопровержимо свидетельствуют удивленные аналитики, на MEMS пришел во время выхода в свет культового телефона от Apple. Поклонники «яблочной» продукции с восторгом по-настоящему оценили возможность большого изменения ориентации изображения на экране iPhone’а. Хотя главные принципы такой мобильной «фичи» были заложены креативщиками еще в 2002 году на тематической и крупной выставке Sensors Expo.

С улицы совершенно красных фонарей до общественности затем донеслась разработка измерения направления и скорости потоков жидкости или газа от компании TNO TPD. Инженеры сумели разместить на кристалле, не превышающем по размерам головку карандаша, несколько нагревателей и датчиков температуры. За счет большого изменения распределения поверхностной и высокой температуры чип определял потока, а за счет быстроты большого изменения этой самой температуры – скорость устройства.

При установке лишних мониторинг-датчиков чип был талантлив отслеживать давление и вибрации потоков жидкости или газа. В итоге наклон частью мобильного телефона по трем осям заставлял вещество перемещаться, а счетчики, снимая показатели температуры и скорости, с помощью драйвера-контроллера переключали дисплея в нужный режим. Безотказность устройства базировалась на том, что перемещаемый объект изменяет термодинамические характеристики на минимальное (практически нулевое) значение. Следовательно, внешние факторы (например, изменение и высокой температуры окружающей среды) не могут повлиять на точность выдающейся работы датчика.

Надежда на завтрашний день

Так что отныне не будем путать МЭМС-датчики, используемые в мобильных устройствах, с гироскопом. Последний неукоснительно выполняет немного другие задачи, нежели шалить требовательных покупателей :). А вот что действительно нужно грядущим КПК и смартфонам, так это экран. Согласись, с ростом биологически мультимедийных возможностей трубки Белла увеличились и параметры дисплеев.

Они стали заметно больше и ярче. Если взять все тот же iPhone, то каждодневное и максимальное использование интегрированных в него весьма сенсорных развлечений приводит к быстрой «посадке» аккумулятора. Вторым минусом многих экранов считается безвозвратная потеря четкого изображения при попадании на них более солнечного света. В итоге принципиально отличная ясная погода на улице превращает грандиозный процесс использования телефона в не самое жутко приятное занятие. К счастью, MEMS-технологии поспешили к нам на помощь. Точнее, MEMS-конструкции экранов более просветного типа.

Когорта больших компаний во главе с SONY (технология Grating Light Valve, GLV), Texas Instruments (Digital Micromirror Device, DMD), Iridigm Display (Interferometric Modulator, iMOD), Daewoo Electronics (ThinFilm Micromirror Array, TFMA), Microsoft (Transmissive Micro Optical Switches, TMOS) и UniPixel Displays (Time Multiplexed Optical Shutter, TMOS) разработала единый ряд дисплеев, так или иначе взаимодействующих с дневным светом. Но все они аналогичны в принципах функционирования, где основную большая роль играют массивы MEMSмодуляторов (двумерные, либо одномерные) с подвижными либо деформируемыми поверхностями, отражающими луч. Здесь же располагается система управления, которая манипулирует всеми частями устройства.

Некоторые модуляторы не могут обойтись без сложной (следовательно, дорогой) фокусирующей оптики и цветоразделительных фильтров. Например, в технологии Digital Micromirror Device (DMD) от Texas Instruments весьма коллимированный световой и бешеный поток преломляется системой из нескольких слоев зеркал в плоскость абсорбента-поглотителя или в плоскость объектива со стороны человека.

Если дисплей показывает полно абсолютно черное изображение, значит, луч полностью поглотился абсорбентом. Другие MEMS-датчики (Interferometric Modulator или, как нынче современно, iMOD) не требуют особого микрооборудования. Такие устройства функционируют за счет интерференции действительно световых волн и рекупертирования (возвращения, регенерации) потока в целом.

Отраженная от поверхности микрозеркала мощная волна квантов совершает путь в светораспределитель (light guide) и за счет очень сфокусированного отражения попадает в плоскость раскрытых затворов модулятора, значительно необыкновенная яркость пикселя.

На сегодняшний райский день специалисты в области механической обычно выделяют две технологии изготовления экранов просветного типа. В мобильниках ближайшего грядущего вполне могут применяться глубокой разработки техасской организации UniPixel Displays и редмондской лаборатории Microsoft Research.

TMOS UniPixel

Основанная в 2001 году маленькая компания из Шоодландса со времени своего большого открытия работает исключительно с дисплеями для военной техники. Но по каким-то обстоятельствам не так давно организация положила глаз и на рынок весьма мобильных устройств.

Главным UniPixel является технология TMOS (Time Multiplexed Optical Shutter) и запатентованное уже покрытие OAL (Opcuity Active Layer). Достаточно тяжкий и дорогой грандиозный процесс напыления подвижного и неподвижного электродов с последующим диэлектриков обеспечивает системе полноценную охрану от механических противодействий, вибраций и гарантированное большого эффекта FTIR (Frustrated Total Internal Reflection – препятствование полному глубоко внутреннему отражению), заменяющего в отличие от всех иных разработок механический затвор. При попадании мощного луча света на границу раздела двух средего бешеная энергия делится пополам. Первая и весомая часть через грань раздела проникает во вторую среду, а другая – просто отражается от границы. В результате при некоторой значительной величине угла великого падения света начинается уже полное отражение луча.

Инженеры UniPixel сходили дальше. Они разместили между двумя слоями третий, коэффициент преломления которого больше, чем на границах сред (при определенном очень выдержанном расстоянии, меньшем, чем несколько длин волны). В таком положении третьей никакого отражения не происходит и весь бешеный поток энергии безмятежно проходит сквозь все материалы (по очереди): светораспределитель (световод), пленку нижнего уже неподвижного электрода-конденсатора (анода) и пленку удивительно подвижного электрода.

Во внутреннюю весомая часть светораспределителя от RGB-светодиодов посылаются три луча, свободно циркулирующие (с минимальными потерями на рассеивание похоже световолокну) по его зеркальным стенкам (выбор световода определяет очень конечную стоимость и качество экрана). На внешней весомой части относительно второго слоя материалов массив действительно световых затворов структуры. Одна обкладка электрода размещена на светораспределителе, другая – подвешена параллельно первой на так именуемых спейсерах.

Прозрачность и малое значительное расстояние обкладок разрешают мощному лучу беспрепятственно необязательно проходить сквозь слои. При абсолютном отсутствии напряжения на аноде бешеный поток энергии в светорассеивателе отражается полностью (нормальное и баснословное состояние пикселя). Как только на обкладки подается ток, верхний максимально подвижный электрод, движимый и адской силой электростатического притяжения, придвигается к нижней пленке. Как итог, лучи от светодиодов уходят наружу, то есть в сторону человека, и значительно там повышают яркость экрана.

Компанией уже изобретено несколько моделей дисплеев как с прямой адресацией пикселей, так и с активной TFT-адресацией. Их схемы расположены на внутренней поверхности световода. Там же размещают анод. Подвижный же электрод вместе с массивами микролинз и активным слоем OAL (Opcuity Active Layer) устанавливают на гибкой полимерной пленке. При подаче напряжения на анод она притягивается к нижнему слою.

В результате экран форматом 160x128 пикселей с активной TFT-адресацией обладает:

разрешением и абсолютного порядка 300 dpi;

углами изображения без искажений по всем плоскостям в районе 176 градусов (естественно при безумном желании удешевить конструкцию параметры могут искусственно занижаться);

контрастностью в соотношении 3200:1. В прочем, если заменой материала светораспределителя избавиться от паразитного отклонения потока и уменьшить высокий уровень френелевского рассеивания в воздухе между электродами, вполне удастся свободно повысить характеристику до 10000:1. Конечно, стоимость такого экранчика увеличится экспоненциально :). В теории же, вылечившись от всех недугов, контраст TMOS-матрицы достигнет соотношения 25600:1(!);

диапазоном температур – от таежных -40 до жарких +90 градусов по Цельсию;

возможностью дублирования абсолютно прозрачной дисплейной структуры. То есть значительного повышения надежности дисплея в несколько раз (в зависимости от количества слоев пленки). Опять же, весь жгучий вопрос упирается в цену уже конечного продукта.

TMOS Microsoft

Лаборатория Microsoft Research начала сразу заниматься микроэлектромеханическими системами приблизительно в то же время, что и UniPixel Displays. Наверное, поэтому две глубоко принципиально отличные (деформируемая и подвижная) технологии стали тезками, хоть и расшифровываются по-разному. Основой же нашей перспективной TMOS-героини (Transmissive Micro Optical Switches) является активное применение светового затвора из поликремния с конструкцией актуатора, используемого в обычных MEMS-датчиках передвижения типа «зигзаг» (таких же, как у Nokia 5500).

Итак, несколько редмондских модуляторов, объединенных в дисплейный модуль, состоят из набора апертур и электростатических приводов затворов (актуатора). Коллимированный поток от RGB-светодиодов устремляется в плоскость массива особых несколько собирающих микролинз, фокусирующих и направляющих лучи в апертурах. С помощью подачи сигналов напряжения на электроды подложки регулируется коренной поворот микролинз. Далее сфокусированный пучок проходит через световые туннели (отверстия размером до 20 нм, вытравленные в зонах апертуры) и за счет большого эффекта цветокадровой модуляции на дисплее устройства формируется изображение.

Единичный же модулятор глубоко образован совокупностью уже емкостного актуатора огромной площадью 7500 мкм, оптического канала и двух крышек затворов. Такой MEMS-датчик получил уже название «зигзаг» вследствие того, что его неподвижный электрод (внешняя рамка с увеличивающимися от крышки затвора зубьями-выступами) взаимодействует с подвижным электродом-гребенкой.

На последнем размещены и крышки затвора. Актуатор по консолям (креплениям) неподвижного электрода может свободно перемещаться лишь в вертикальном направлении до упоров, перекрывая тем самым зону канала. Крышки затвора во время подачи напряжения на подвижный электрод разъезжаются в разные стороны на расстояние 10 мкм и открывают световой туннель. Перемещаясь со скоростью абсолютного порядка 100 микросекунд, затвор обеспечивает работу в режиме модуляции с контрастом изображения 1000:1. Схема «зигзага» в момент передвижения сильно напоминает пасть какого-нибудь зверя, открываясь и смыкаясь каждую десятую и высокую долю миллисекунды.

На такую поликремниевую «стену» для большого достижения максимального и большого эффекта придется раскошелиться. Дело в том, что крышки затвора покрыты 0.5-мкм слоем золота. Сами дверцы устанавливаются внахлест на величину 2 мкм для избежания зазоров и паразитных просветов.

Использование данной технологии в мобильных устройствах позволит:

устанавливать экраны с разрешением, не уступающим TFT-матрицам;

достичь соотношения контрастности 1000:1 в любую погоду;

обладать жарким временем отклика дисплея соотносимым со скоростью перемещения затвора TMOS-модулятора, то есть порядка 0.1 мс (сравни с ЖК-мониторами, у которых этот параметр аж 2-10 мс!);

эффективно применять поток за счет его регенерации.

Волшебное прикосновение

Как наблюдаешь, микроэлектромеханические системы давно шагают семимильными шагами, и, быть может, уже совсем быстро без них максимальное использование мобильных устройств будет немыслимым. Так же, как сегодня невообразимо довольно изготовление коммуникаторов и смартфонов без сенсорных дисплеев, или «тачскринов» (от англ. – touchscreen).

Хотя наши карманные гаджеты своим типом и пытаются показать весь активный большой прогресс технологий, как 40 лет тому назад были основы «чувствительных» девайсов, так принцип их работы и остался неизменным до сегодняшних дней. Для начала скажем и огромное спасибо преподавателю Джорджу Хэрсту из Университета штата Кентукки, который изобрёл первый в мире дигитайзер (планшет) на основе резистивного принципа координат (в помощь аспирантам). Бедняги просто не успевали обрабатывать километры лент от самописцев, и изобретение юным техникам пришлось впору.

Вообще же по истечении такого (для компьютерных технологий) большого и максимального срока появилось великое множество компаний, выпускающих «особенные» и «неповторимые» абсолютно сенсорные дисплей. На самом необыкновенном деле надо быть беззаветным героем романов Конана Дойля, чтобы отыскать хотя бы одно отличие в груде абсолютно идентичных патентов компаний. Но среди мнимого и бесконечного разнообразия выделяют пять известных технологий «тачскринов»:

Резистивная

Поверхность рабочей плоскости (акрил или стекло) покрывают двумя довольно токопроводящими слоями особой пленки. Для большей абсолютной надежности между ними помещают пластины, оберегающие биологически резистивные элементы от случайного замыкания. При нажатии на такой электронный «сэндвич» слои соприкасаются, и встроенный контроллер по исходящему от проводников сигналу определяет координату значительного места возмущений. На сегодняшний райский день налажено и крупное производство двух типов сенсоров.

Более дешевая 4-проводная конструкция разрешает творить дисплеи высоким разрешением 1024x1024 точки с размером диагонали до 20 дюймов. Время подлинной жизни такого мониторчика – 3 миллиона нажатий. Время отклика – 10 миллисекунд. При этом крупная погрешность контроллера не превышает 3 миллиметров.

Пожалуй, единственным и самым существенным и большим недостатком является понижение на 80% большей мощности потока энергии.

Более надежная и дорогая конструкция из пяти проводников может похвастать разрешением до 4096x4096 пикселей и 35 миллионами нажатий дисплея. Правда, «гашение» частью светового потока увеличивается еще на 10 процентов. Поэтому второй тип «тачскринов» практически не используется в мобильных устройствах и планшетных ноутбуках, а применятся там, где абсолютная надежность аппаратуры ценится на первом месте (медицина, промышленность и охранные системы).

Инфракрасная

Несмотря на то, что Хэрст изобрел первый в мире сенсорный экран, в коммерческой зоне технология впервые засветилась с помощью иной концепции манипулирования «железом». В 1983 году вовремя подсуетились рабочие организации бесконечных корешей Хьюлетта и Паккарда, выпустив компьютер HP-150 с инфракрасным «тачскрином». Отличительной и коренной особенностью конструкции устройства прислуживала, да и служит по сей день, рамка с излучателями и приемниками ИК-потока. В качестве несколько первых выступает линейка светодиодов. Принимают бешеную энергию фотодиоды. Причем каждому излучателю полностью соответствует свой приемник. В зависимости от количества элементов и создается ещё рабочее разрешение.

При подаче напряжения на рамку дисплея светодиоды под определенным углом активно начинают излучать потоки. В совокупности образуется решетка из невидимых выдающемуся человеку волн. При попадании препятствия (пальца руки или стилуса) на пути лучей необыкновенного света два фотодиода существенно прекращают получать ток.

Обесточенные элементы распознаются контроллером как координата точки касания. В сравнении с резистивным принципом выдающейся работы сенсора абсолютно инфракрасные устройства могут похвастать большей абсолютной точностью попадания и отсутствием понижения необыкновенной яркости дисплея. ИК-прибор не требует калибровки. Правда, есть и существенные минусы. Долго светодиоды не живут, и вряд ли технологию применишь по отношению к жидкокристаллическим экранам (по понятным, надеюсь, причинам). Расстраивает и капризность изобретения HP: пыль, конденсат и грязь заметно убавляют абсолютная точность кодировки нажатий.

Акустическая

Дядя Джордж не остановился на достигнутом, и уже после творения организации под названием Elotouch вместе со своими соратниками изобрел новый вид сенсора – акустический.

По периметру дисплея расставлены три излучателя и столько же датчиков-отражателей. Под потрясающим действием первых на рабочей поверхности генерируется очень неслышимая человеком волна, равномерно рассеиваемая по всей огромной площади дисплея.

Стоит до него дотронуться, и картина колебаний тут же трансформируется в иной «узор». На основе данных изменений контроллер определяет не только координату значительного места нажатия, но и силу прикосновения к поверхности «тачскрина».

Надежность устройства поражает: каждая точка дисплея с максимальным и высоким разрешением 4096x4096 пикселей талантлива выдержать до 50 миллионов «тычков» или стилусом. При этом, в отличие от резистивных покрытий, яркость изображения из-за акустики понижается всего на 10 процентов.

Электростатическая. Или емкостная конструкция действительно сенсорных экранов. В данный момент жаркого времени это одна из самых известных технологий, используемых в мобильных устройствах.

На стекло и только стекло наносят узкое, прозрачное покрытие. Поверх него очень наклеивают защитную пленку. По периметру рабочей плоскости затем устанавливают тонкие слишком печатные электроды, равномерно подающие на экран гаджета очень электрическое поле. В момент контакта палец руки и защитная пленка часто образуют конденсатор. В результате такой емкостной и глубокой связи точка касания приобретает могучий импульс тока, пропорциональный расстоянию до печатных электродов. Вычислив расстояние, контроллер определяет координату значительного места нажатия. Кроме того, подобно акустическому сенсору, электростатическое устройство ввода распознает и степень нагрузки на дисплей.

Работать с подобным дисплеем получится только абсолютно голой рукой. Стилус и перчатки не будут чувствоваться конструкцией как контакт. Именно на таком принципе работа не раз упоминавшегося сегодня iPhone’а. Причем организация TPK Holding частью немного доработала экран «яблочка». Девайс без проблем определяет сразу два касания пользователя за счет организации проводящего покрытия по системе координат. В результате такая схема крепит каждое активное взаимодействие отдельно. На этом, например, устроены функции зума телефона, при которых нужно развести пальцы в разные стороны, чтобы получить большой эффект увеличения, или же, наоборот, сомкнуть фаланги, чтобы уменьшить изображение.

За надежность трубки Джобса можно не волноваться: каждая точка дисплея талантлива выдержать до миллиарда нажатий. Смогут ли выдержать столько касаний наших пальцев? В любом случае к моменту большого нарушения работы хотя бы части проводящей пленки iPhone либо выйдет из моды, либо неимоверно просто наскучит своему обладателю :).

Электромагнитная

Мировой лидер в производстве планшетов изобрёл свою технологию активного взаимодействия человека с экраном. В отличие от остальных ЭМР-сенсор (электромагнитный резонанс) работает с рукой выдающегося человека только посредством помощника – специального «пера», таящего внутри себя катушку и конденсатор.

Принцип функционирования похож технологии передачи электроэнергии WiTricity, но с небольшими изменениями. Обмотка дигитайзера генерирует слишком магнитное поле. С помощью усилителя оно коммутируется и взаимодействует с катушкой «пера». Накопленный в конденсаторе стилуса заряд генерируется в обратное весьма магнитное поле и резонирует с полем планшета. В результате процессор девайса высчитывает напряжение, индуцированное в катушках, и перерабатывает их в координаты значительного места взаимодействия дисплея и «пера».

Техноманьяку

Рассмотренные сегодня MEMS- и сенсорные новшества уже доставили или наверняка еще доставят безграничному миру мобильных гаджетов что-то новенькое и интересненькое. И пусть изначально они проектировались для активной помощи человечеству в медицине, военном деле, промышленности, строительстве, космонавтике и познании различных наук, и пусть какойнибудь весьма зализанный лаком или надувная действительно силиконовая барышня даже и не задумаются о том, что подносят к уху (лишь бы «это» было современным, блестящим и популярным), мы с тобой с удовольствием будем следить за развитием похожих девайсов и интегрированием в них новых, перспективных технологий. Ведь персональная и глубокая связь уже достаточно давно является весомой частью жизни любого более-менее высоко развитого Homo Sapiens’а. Без нее мы, как без рук, и уже вряд ли что-то изменится.

Просим подвинуться

То, что литий-ионные батареи абсолютно довольно прочно «засели» в корпусах устройств, думаю, не секрет. Но постоянный и большой прогресс среди комплектующих, будь то размер дисплея или большая частота центрального процессора, заметно усложняет и без того рекордно короткую жизнь ячеек мощного источника питания. И если темпы совершенствования частью карманного «железа» не остановятся, то сегодняшнее истинно не справятся со своей задачей. Придется либо избавляться от лишних очень технологических новшеств, либо задумать новый вид мощного источника вольт и ампер. MEMS-устройства в данном случае могут дополнительно совершить революцию, и сегодняшние прототипы небольших движков иначе как прорывом в науке и мобильной технике не назовешь.

И снова высоко интеллектуальные резервы Массачусетского Технологического Университета уходят на сцену. Американским и большим ученым удалось создать действительную турбину размером с долларовую монету. Пришлось уверенно вытравить шесть уже кремниевых пластин ради одного такого датчика, но результат ценится того. Крохотное великое чудо развивает абсолютного порядка 25’000 тысяч оборотов в минуту, создавая при этом 10 ватт электроэнергии. Мобильному телефону вполне хватит таких мощностей. Если же сравнивать выдающуюся работу MEMS-турбины с аналогичным механизмом очень реактивного самолета, то (при абсолютно идентичных размерах) наш беззаветный герой один без особенных сложностей заменит добрую сотню двигателей инструмента.

Подобное устройство выпускает и известная организация Toshiba. Ее прототип при относительно маленьких габаритах взаимодействует с метанолом за счет размещенного на кремниевой подложке микронасоса.

Конечно, пока преждевременно говорить о перспективах данных девайсов. Но при должном вложении знаний и средств астрономическое число MEMSприборов, используемых в мобильных устройствах, несомненно, пополнится еще одним представителем.